كيف تعمل العملية؟
تُغطى الشريحة بمادة حساسة للضوء (مقاوم ضوئي)، ثم يُسلط الضوء عبر قناع يحمل نمط طبقة معينة، فتُضاء المناطق المكشوفة وتُزال كيميائيًا، ثم تُنقش المواد المكشوفة وتُضاف طبقات جديدة، وتتكرر العملية عشرات المرات لبناء الرقاقة طبقة فوق طبقة.
سباق الطول الموجي
كلما قصر الطول الموجي للضوء، صغرت التفاصيل المنقوشة. انتقلت الصناعة من الضوء المرئي إلى الأشعة فوق البنفسجية القصوى (DUV) ثم إلى EUV بطول موجة 13.5 نانومترًا، وهو إنجاز يتطلب تفريغًا هوائيًا كاملًا ومرايا مطلية بطبقات مئات البديلات.
آلات ASML الأسطورية
شركة ASML الهولندية تحتكر آلات الطباعة الحجرية بالضوء فوق البنفسجي الأقصى (EUV)، وكل آلة تزن مئات الأطنان وتكلف أكثر من 150 مليون دولار وتحتاج طائرات شحن خاصة لنقلها. القيود على تصدير هذه الآلات أصبحت أداة سياسية في حرب الرقائق.